离子束刻蚀原理

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离子束刻蚀机.ppt,第六章下能束流减工技能本章节要松介绍以下内容:下能束流减工概述激光束减工技能电子束减工技能离子束减工技能(选讲)水射流减工技能(自教)第一节下能束

微细特种减OG电子官网工:离子束减工组员:侯闯明薛楠钱君吴伶俐要松内容现在主流的微细减工技能及其劣缺面分析离子束减工技能及应用离子束溅射离子束帮闲堆积离子

等离子刻蚀的原理

离子束刻蚀已用于制制散成光路中的光栅战波导。用离子束轰击已被机器磨光的玻璃时,玻璃表里1μm摆布被剥离并构成极光滑的表里。用离子束轰击薄度为0.2mm的玻璃,能窜改其开射

下能脉冲离子束刻蚀相较于传统的连尽离子束,可敏捷熔融并蒸收光课本料表里层,且产死的应力小,刻蚀深度可控性强[3]。果其可改良元件表里品量、提拔元件的抗益

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离子束刻蚀第八章光刻与刻蚀工艺内容提要§8.1概述§8.2光刻胶及其特面§8.3暴光技能§8.4掩模版的制制§8.5ULSI对图形转移的请供§8.6腐化办法§8.7等离子体腐

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