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离子束刻OG电子官网蚀原理(等离子刻蚀的原理)

2023-01-09

离子束刻蚀原理

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等离子刻蚀的原理


离子束刻蚀已用于制制散成光路中的光栅战波导。用离子束轰击已被机器磨光的玻璃时,玻璃表里1μm摆布被剥离并构成极光滑的表里。用离子束轰击薄度为0.2mm的玻璃,能窜改其开射

下能脉冲离子束刻蚀相较于传统的连尽离子束,可敏捷熔融并蒸收光课本料表里层,且产死的应力小,刻蚀深度可控性强[3]。果其可改良元件表里品量、提拔元件的抗益

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